温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种薄膜与氧化铝陶瓷基板的结合工艺，属于厚薄膜结合技术领域，包括以下步骤制备多层氧化铝陶瓷基板；对多层氧化铝陶瓷基板的表面进行研磨抛光处理；在多层氧化铝陶瓷基板的表面溅射金属层；对金属层进行多次光刻和镀覆形成薄膜结构。本发明提供...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。