下载用于定位键合工具的视觉系统的技术资料

文档序号:4205916

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本发明公开了一种用于在键合操作过程中修正键合工具的位置偏差的装置,该装置包含有:设置在键合工具上的第一基准标记和第二基准标记,第二基准标记和第一基准标记相互隔开,其中当第一基准标记和第二基准标记在参考位置处被照射时,自第一基准标记发出第一成...
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