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谐振模块、硅基外腔芯片、激光器及激光雷达制造技术
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文档序号:42059009
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本发明适用于激光雷达技术领域,提供了一种谐振模块、硅基外腔芯片、激光器及激光雷达。谐振模块包括多个主谐振腔和至少一个辅助谐振腔,主谐振腔和辅助谐振腔均为可调谐微环谐振腔;多个主谐振腔通过连接模块依次级联形成级联结构,相邻两个主谐振腔之间能够...
该专利属于武汉万集光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉万集光电技术有限公司授权不得商用。
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