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一种圆盘形硅材料加工的辅助工装，包括卡座和环形座，环形座设有安装位置可安装到机床上，环形座直接或间接设置限位部，卡座可相对环形座移动或并锁止在需要的位置上，卡座设有定位部，定位部可对圆盘形硅材料工件进行轴向和径向限位，圆盘形硅材料工件安装到...
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