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本发明公开了一种超薄碳化硅单晶衬底的制备设备，涉及制备设备技术领域，包括主体机构，主体机构的内壁顶部固定连接有切割组件，主体机构的内表壁固定连接有夹持机构。本发明在使用中，通过在主体机构、切割组件以及夹持机构的相互作用下，该装置利用附着金刚...
该专利属于大同锡纯新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同锡纯新材料有限公司授权不得商用。

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