下载一种发光二极管单晶生长制备方法的技术资料

文档序号:42047600

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本发明公开一种发光二极管单晶生长制备方法,依次包含:在衬底上单晶生长AlN层、AlGaN过渡层、非掺杂GaN层、n型GaN层、单晶生长量子阱调和层、第一量子阱层、第二量子阱层、第三量子阱层、第四量子阱层、第一P型GaN层、AlGaN电子阻挡...
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