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本发明的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构包括：视口，所述视口配置成能在保持真空腔室真空状态的状态下轻松拆装除静电装置；及除静电装置，所述除静电装置结合于所述视口并向所述真空腔室内照射真空紫外线；其中，所述除静电装...
该专利属于禅才高科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过禅才高科技股份有限公司授权不得商用。

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