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硅棒转运装置和开方机制造方法及图纸
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下载硅棒转运装置和开方机的技术资料
文档序号:42041990
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本技术提供了一种硅棒转运装置和开方机。该硅棒转运装置包括:夹爪框架(31),夹爪框架(31)上设置有竖向导轨(311);上夹爪组件(32),沿竖向导轨(311)可滑动地设置在夹爪框架(31)上;下夹爪组件(33),沿竖向导轨(311)可滑动...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
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