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本实用新型是一种溅镀靶材的冷却装置，是设置于一溅镀阴极的阴极本体的下方，该阴极本体具有一环形水道，该冷却装置包括有：一绝缘座，是具有一凹槽以及至少二贯穿该绝缘座并连通于该凹槽的接合孔；一磁铁底板，是设置于该凹槽之中，具有至少二水路接头设置孔...
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