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本发明涉及一种借助共焦传感器对技术表面进行光学测量的方法，其中，光源(11)的光经由光学系统对准待测量的样品表面，其中，该光学系统包括照明掩模(13)、传感器矩阵(15)、用于使得照明光路和检测光路组合的分光镜(14)以及成像光学系统(6)...该专利属于布莱特迈尔测量技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过布莱特迈尔测量技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种借助共焦传感器对技术表面进行光学测量的方法，其中，光源(11)的光经由光学系统对准待测量的样品表面，其中，该光学系统包括照明掩模(13)、传感器矩阵(15)、用于使得照明光路和检测光路组合的分光镜(14)以及成像光学系统(6)...