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本技术公开了一种测温装置及半导体真空高温炉设备，测温装置包括安装组件、测温模块、滑动组件、驱动组件以及检测单元。安装组件与炉体连接；测温模块与安装组件活动连接；滑动组件与所述测温模块连接，且所述滑动组件能沿所述安装组件的长度方向来回滑动；驱...
该专利属于江苏先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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