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本发明公开了一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺。本发明利用磁控溅射法制备TiO<subgt;2</subgt;电子传输层薄膜，利用近空间升华法在TiO<subgt;2</subgt;衬底上沉积高质量硫化...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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