一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺。本发明专利技术利用磁控溅射法制备TiO<subgt;2</subgt;电子传输层薄膜，利用近空间升华法在TiO<subgt;2</subgt;衬底上沉积高质量硫化锑吸收层薄膜。该方法优势在于：(1)所有功能层均采用全真空工艺制备，确保了薄膜的均匀性、重复性以及良好的结晶性；(2)利用TiO<subgt;2</subgt;的宽带隙(～3.2eV)、无毒性和优异的稳定性代替传统CdS电子传输层，实现了环境友好型硫化锑薄膜太阳能电池的制备；(3)相对于传统溶液法，全真空快速沉积工艺具有优异的便捷性和高利用率特性，具备实现高通量制备和大规模工业化的潜力。器件结构自下而上依次为导电玻璃/TiO<subgt;2</subgt;电子传输层/硫化锑吸收层/背电极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种太阳能电池的制备技术，具体为一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺，属于太阳能。

技术介绍

1、能源课题一直是关乎国家发展进程的重大课题，而太阳能由于其丰富性、环保性和实用性等特性被认为是最有前途的新能源之一。对太阳能的利用主要分为光电转换和光热转换；其中光电转换主要通过太阳能电池来实现。目前，太阳能电池主要分为三类：第一代晶硅太阳能电池、第二代化合物薄膜太阳能电池以及第三代新型太阳能电池。其中属于第三代新型太阳能电池的锑基硫属薄膜太阳能电池凭借其元素丰富度高、毒性低的环境友好特性以及化合物稳定简单、蒸汽压高、带隙可调、光吸收系数高、本征准一维(q1d)的晶体结构等优越的物理特性而受到迅速发展(adv.mater.2023,2305841)。其中硫化锑理想的带隙宽度(1.7ev)尤其适合室内光伏应用以及作为硅基串联太阳能电池的顶电池吸光吸收材料，因而受到广泛关注(adv.funct.mater.2021,31(27)：2100265)。

2、目前制备硫化锑太阳能电池的主流方法是利用溶液法制备器件结构为导电玻璃/硫化镉本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于包括如下步骤：

3.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的工艺，其特征在于：

5.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

6.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

7.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

8.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

9.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

【技术特征摘要】

1.一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于包括如下步骤：

3.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的工艺，其特征在于：

5....

【专利技术属性】
技术研发人员：周儒，苏学胜，郭彪，胡浩雨，聂永其，万磊，王欢，牛海红，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：