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本技术公开了一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，包括：工作台和设置在所述工作台顶部内侧的若干清洗框，以及设置在所述工作台顶部的清洗移动组件；所述清洗移动组件包括：设置在所述工作台内侧底部的超声波发生器，在超声波发生器和若干压电换能器的配合...
该专利属于苏州钛阳新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州钛阳新材料有限公司授权不得商用。

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