一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，包括：工作台和设置在所述工作台顶部内侧的若干清洗框，以及设置在所述工作台顶部的清洗移动组件；所述清洗移动组件包括：设置在所述工作台内侧底部的超声波发生器，在超声波发生器和若干压电换能器的配合下，能够对若干清洗框产生超声震动的效果，将基片固定在若干夹板之间，对移动板进行移动，能够带动基片沿着移动槽依次经过若干清洗框进行反复清洗，当基片位于清洗框内部时，通过利用高频振动产生的微小气泡破裂和冲击力，可以深入到基片表面的微小缝隙和孔洞，彻底清除污垢和杂质，并且不需要直接接触基片表面，减少了对基片的摩擦和刮擦，从而避免对基片产生的不利影响。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及清洗设备，尤其涉及一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置。

技术介绍

1、在工业设备中，热端部件通常会产生高温，例如炉炉管、燃烧器、锅炉等。当热端部件表面的温度过高时，会导致结焦现象的发生，因此需要使用到防结焦涂层，在通过气相沉积法制备防结焦涂层时，需要对沉积涂层的基片进行清洗，避免表面有杂质和污垢影响制备的效果和质量。

2、现有技术中，在对基片进行清洗时，传统的方式，往往采用毛刷或其他工具进行清洗，但是毛刷或其他工具通常只能清洗到基片表面，无法彻底去除难以触及的污垢，未去除的污垢，在沉积反应后，可能会影响制备后的涂层质量，并且传统的清洗方式，容易产生划痕和刮伤，对基片的质量和性能造成不利影响。

技术实现思路

1、本技术克服了现有技术的不足，提供一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置。

2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，包括：工作台和设置在所述工作台顶部内侧的若干清洗框，以及设置在所述工作台顶部的清洗移动组件；</p>

3、所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于，包括：工作台(1)和设置在所述工作台(1)顶部内侧的若干清洗框(11)，以及设置在所述工作台(1)顶部的清洗移动组件；

2.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述固定框(24)的内侧转动连接有转动杆(3)，所述转动杆(3)的侧面设置有方向相反的螺纹，若干所述夹板(25)的内侧与所述转动杆(3)的侧面螺纹连接，所述转动杆(3)位于所述固定框(24)外部的一端设置有六角螺母(31)。

3.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述限位滑槽(28)位...

【技术特征摘要】

1.一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于，包括：工作台(1)和设置在所述工作台(1)顶部内侧的若干清洗框(11)，以及设置在所述工作台(1)顶部的清洗移动组件；

2.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述固定框(24)的内侧转动连接有转动杆(3)，所述转动杆(3)的侧面设置有方向相反的螺纹，若干所述夹板(25)的内侧与所述转动杆(3)的侧面螺纹连接，所述转动杆(3)位于所述固定框(24)外部的一端设置有六角螺母(31)。

3.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述限位滑槽(28)位于相邻所述清洗框(11)一侧的截面形状为w型，若干所述限位滑槽(28)对称设置在所述清洗框(11)的侧面。

4.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：若干所述清洗框(11)呈线性阵列的方式均匀分布在所述工作台(1)顶部的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：工作台(1)的顶部设置有平移组件，所述平移组件包括：固定在所述工作台(1)顶部的若干固定板(4)，设置在所述固定板(4)一侧的伺服电机(41)，以及设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱权，陈君武，
申请(专利权)人：苏州钛阳新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：