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复杂结构复合材料的超快激光精密加工装置制造方法及图纸
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文档序号:42028612
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本发明公开了一种复杂结构复合材料的超快激光精密加工装置,包括:多轴运动平台,多轴运动平台上适于安装待加工样品;加工模块,加工模块包括超快激光器、四分之一波片、快门、光场整形相位板、电动变倍扩束镜、中性密度衰减片、二维扫描振镜和聚焦透镜,超快...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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