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本发明提出了一种蚀刻后金属导线顶部损失的检测方法。现有的测试金属过蚀刻方式有两种：一、ＷＡＴ－ＲＳ测试，二、ＦＡ　ｃｈｅｃｋ　ｃｒｏｓｓ　ｓｅｃｔｉｏｎ，但是第一种方法时效性太差，第二种成本又太高。本发明提出的方法中通过ｐｒｏｃｅｓｓ　ｆｌ...
该专利属于和舰科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和舰科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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