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一种功能性纳米薄膜全干法转移方法技术
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文档序号:42023598
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本发明公开了一种功能性纳米薄膜全干法转移方法,所述干法转移方法中的关键在于采用自组装单分子层,分别修饰施主、受主衬底表面,将其与功能性纳米薄膜之间的粘附力大小进行精确调控,从而可实现晶圆级尺寸、极端厚度纳米薄膜材料与同质/异质衬底之间的“超...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。
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