下载一种基于高纯度固氩探测系统的循环纯化系统及方法的技术资料

文档序号:42020105

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本发明涉及固氩纯化技术领域,公开了一种基于高纯度固氩探测系统的循环纯化系统及方法,纯化系统包括氩气气源、初级纯化器、纯化器、真空泵组、液氩罐和固氩罐;氩气气源通过气体管路连接到初级纯化器的进气口,初级纯化器的出气口通过气体管路同时连接到固氩...
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