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本发明涉及一种静电卡盘的制作方法，包括以下步骤：步骤一、制备氮化铝流延浆料；制备静电卡盘生瓷胚，静电卡盘生瓷胚上设有安装槽；步骤二、在安装槽底部铺设静电电极板和第一铜线，再注入浸没静电电极板的氮化铝流延浆料，干燥固化后形成第一氮化铝隔板；步...
该专利属于福建华清电子材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建华清电子材料科技有限公司授权不得商用。

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