温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种晶圆预对准方法及系统，应用于晶圆预对准技术领域，其中，将载台移动到测量位置；将待对准晶圆放置在位于测量位置的载台上；旋转待对准晶圆，通过传感器采集待对准晶圆的边缘坐标数据；对采集到的边缘坐标数据进行处理，得到待对准晶圆的圆心坐...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。