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根据本发明的大尺寸基片ＰＥＣＶ０处理的等离子体反应器，包括作为外室的真空处理室和带有电极喷头作为ＲＦ天线的至少一个内部反应器，所述内部反应器还包括反应器底部和反应器顶部，由此加强件支撑反应器顶部和／或反应器底部，加强件经由补偿隔件（４）连接...
该专利属于ＯＣ欧瑞康巴尔斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＯＣ欧瑞康巴尔斯公司授权不得商用。

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