下载通过反应蒸发进行的原位薄膜的生长的技术资料

文档序号:4201672

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本发明公开了通过反应蒸发进行的原位薄膜的生长。一种在衬底上原位形成MgB2膜的方法包括以下步骤:(a)在淀积区中将硼淀积到衬底的表面上;(b)将衬底移动到包含加压的气态镁的反应区中;(c)将衬底移回到淀积区中;和(d)重复步骤(a)~(c)...
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