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本发明公开了一种耐腐蚀耐高温超声波传感器用电极材料及其制备方法，属于压电传感器技术领域。本发明的制备方法，通过在衬底与靶材间施加偏置电压并结合热扩散处理，形成或扩大层间交互区域，使电极材料各层牢固结合；其工艺简便、加工精度高，适用于规模化生...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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