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本技术公开了一种基于结构超滑的被动式单向微阀及具有其的微泵。微阀包括阀盖、阀座和腔体，阀盖由弹性支撑结构支撑，弹性支撑结构对阀盖施加向下的预紧力，阀盖为单晶石墨材质；阀座包括第一绝缘层和设置在第一绝缘层下方的第二绝缘层，阀座中部预设通孔，第...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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