温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提出了一种射频阻抗自动匹配的方法，首先根据事先生成的模糊控制规则表，反复调整第二可变电抗元件的阻抗，直到匹配网络输入导纳实部偏差的模糊量为零；然后根据模糊控制规则表，反复调整第一可变电抗元件的阻抗，直到匹配网络输入导纳虚部偏差的模糊量...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。