下载一种超晶格双色红外光电探测器及制作方法的技术资料

文档序号:42008061

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本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种超晶格双色红外光电探测器,所述超晶格双色红外光电探测器,包括:衬底,缓冲层,下吸收层,势垒层,上吸收层以及上欧姆接触层,其中,所述势垒层、所述上吸收层以及所述上欧姆接触层上刻蚀有台面,用于形成像元隔离,...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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