【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种超晶格双色红外光电探测器。
技术介绍
1、红外焦平面探测技术具有高可靠性、反应速度快、被动探测等优势，广泛应用于安防监控、车辆夜视、自然资源调查以及天文气象观测等领域。相比于单色红外探测器只能在一个波段范围内对目标进行探测，获取的信息有限，双色红外探测器能够探测两个波段，获取的目标信息更加丰富，可以提高器件的探测能力。
2、超晶格材料(inas/gasb/alsb等)可以通过调节材料组分和周期厚度来改变带隙，其工作波段能覆盖从短波到甚长波的红外波段，是近年发展迅速的红外焦平面探测器材料。超晶格材料的制备成本相对较低，材料性质稳定不易产生工艺损伤，大面积均匀性较好，在双色材料制备方面具有一定优势，具有较大的发展前景。
3、传统对于红外探测器的设计中，由于隔离槽深度在7μm-10μm左右，因此制备工艺难度大；且由于隔离槽内载流子容易向相邻像元扩散，因此会对器件造成干扰，不利于探测性能的提升。
4、有鉴于此，如何提供一种工艺简单、器件占空比高、探测器性能高，且像元间串扰低的...
【技术保护点】
1.一种超晶格双色红外光电探测器，其特征在于，所述超晶格双色红外光电探测器，包括：衬底，缓冲层，下吸收层，势垒层，上吸收层以及上欧姆接触层，其中，
2.根据权利要求1所述的一种超晶格双色红外光电探测器，其特征在于，所述势垒层、所述上吸收层以及所述上欧姆接触层上刻蚀的所述台面，构成成像元隔离槽，其中，所述成像元隔离槽的深度为4μm-6μm。
3.根据权利要求1所述的一种超晶格双色红外光电探测器，其特征在于，所述台面侧壁上，覆有钝化层，其中，所述钝化层用于保护所述台面。
4.根据权利要求1所述的一种超晶格双色红外光电探测器，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种超晶格双色红外光电探测器，其特征在于，所述超晶格双色红外光电探测器，包括：衬底，缓冲层，下吸收层，势垒层，上吸收层以及上欧姆接触层，其中，
2.根据权利要求1所述的一种超晶格双色红外光电探测器，其特征在于，所述势垒层、所述上吸收层以及所述上欧姆接触层上刻蚀的所述台面，构成成像元隔离槽，其中，所述成像元隔离槽的深度为4μm-6μm。
3.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵成城，胡雨农，刘铭，游聪娅，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：
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