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本发明涉及半导体材料技术领域,具体涉及半导体材料性能测试装置,包括半导体件、工作台和滑架,其中工作台顶部设有隔离罩,滑架滑动于隔离罩外壁,用于放置半导体件。半导体件通过检测底座与电性连接,并受到顶杆和半球体持续挤压,保证在测试过程中不受高温...该专利属于无锡瑞鸿兴半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡瑞鸿兴半导体设备有限公司授权不得商用。
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