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多层涂胶掩膜板蚀刻线形态图像增强方法和系统技术方案
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下载多层涂胶掩膜板蚀刻线形态图像增强方法和系统的技术资料
文档序号:42007116
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本发明公开了多层涂胶掩膜板蚀刻线形态图像增强方法和系统,包括:S1:对多层涂胶掩模版图像使用多尺度高斯滤波进行去噪,并使用局部对比度增强和边缘平滑保持方法对去噪后的多层涂胶掩模版图像进行预处理;S2:利用改进的Canny边缘检测方法来识别和...
该专利属于长沙韶光芯材科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙韶光芯材科技有限公司授权不得商用。
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