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通过真空下的负荷固定腔转移物件的方法和装置制造方法及图纸
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下载通过真空下的负荷固定腔转移物件的方法和装置的技术资料
文档序号:4200644
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揭示了涉及物件的真空辅助处理的方法和装置,由此在准备腔(15)和处理腔(11)之间引导物件,两个腔都保持基本上相等的低压以提高系统效率和产品质量,其中磁耦合的传动机构(43)被用于在处理之前和之后定位物件。...
该专利属于爱德华兹真空股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱德华兹真空股份有限公司授权不得商用。
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