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本公开涉及曝光装置及物品制造方法。用于曝光基板上的多个投射区域的曝光装置包括投影光学系统、被构造为驱动基板的驱动机构、被构造为检测基板的表面高度的检测器，以及被构造为基于检测器的输出来控制驱动机构的控制器。投影光学系统被构造为将原版的图案投...
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