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本申请公开了一种基于激光衍射的位移测量系统及方法，包括激光器和位移测量装置。位移测量装置包括半反射分光棱镜、反射镜、小板孔、图像采集模块、驱动电机和齿轮组。半反射分光棱镜将激光器发射的激光进行分光，将分光的第一激光反射到小板孔，将分光的第二...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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