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本发明涉及半导体制造技术领域，提供一种半导体温控设备及温控方法，包括依次设置的高温级制冷系统、中温级制冷系统和低温级制冷系统；高温级制冷系统和中温级制冷系统的至少其中一个设置有回热器组件，低温级制冷系统设置有经济器，高温级和中温级采用回热器...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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