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本发明涉及具有一个或多个集成热电装置的光学移相器，包括光学移相器的结构以及形成包括光学移相器的结构的方法。该结构包括光学移相器，该光学移相器包括具有第一分支和与该第一分支横向间隔开的第二分支的波导芯。该结构还包括热电装置，该热电装置包括第一...
该专利属于格芯（美国）集成电路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格芯（美国）集成电路科技有限公司授权不得商用。

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