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本申请提供多层材料相控阵雷达发射芯片、雷达装置及制作方法，本申请通过第一材料形成的第一材料结构和硅材料形成的SOI硅波导结构，且所述第一材料结构中的第一材料的非线性系数低于硅材料，从而采用第一材料结构与SOI硅波导结构两层波导分束结构，这样...
该专利属于武汉万集光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉万集光电技术有限公司授权不得商用。

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