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提供了一种使用主分量分析的紧凑ＡＢＢＥ内核生成。一些实施例提供用于确定对光刻工艺的光学系统进行建模的ＡＢＢＥ内核集合的技术。在操作期间，系统可以接收用于光刻工艺的光学系统的光学参数（例如数值孔径、波长等）。接着，系统可以使用光学参数以确定用...
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