温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
具有交替清洗结构的晶圆清洗机,涉及晶圆清洗技术领域,本发明包括超声波清洗箱,超声波清洗箱的上端外表面设置有箱盖,且超声波清洗箱的前端外表面靠近底端的位置设置有控制板,超声波清洗箱的上端外表面开设有清洗腔;本发明是通过设置清洗框、清理组件以及...该专利属于立川(无锡)精密设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立川(无锡)精密设备有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
具有交替清洗结构的晶圆清洗机,涉及晶圆清洗技术领域,本发明包括超声波清洗箱,超声波清洗箱的上端外表面设置有箱盖,且超声波清洗箱的前端外表面靠近底端的位置设置有控制板,超声波清洗箱的上端外表面开设有清洗腔;本发明是通过设置清洗框、清理组件以及...