下载一种氮化镓半导体器件及激光器的技术资料

文档序号:41982938

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本发明涉及一种氮化镓半导体器件及激光器,该氮化镓半导体器件包括半导体衬底与至少两个电极,电极位于半导体衬底的异侧,半导体衬底包括半绝缘GaN单晶,半绝缘GaN单晶中Fe元素的掺杂浓度为1E17cm<supgt;‑3</supgt...
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