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本发明涉及MEMS压电技术领域，尤其是涉及一种MEMS压电发声单元、MEMS压电扬声器及MEMS压电发声单元的制备方法，该MEMS压电发声单元包括：衬底，衬底的背部刻蚀有空腔，衬底上刻蚀有凹槽；振膜，设置于衬底上，振膜开设有开口。本申请提供...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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