温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及晶圆加热设备技术领域，且公开了一种晶圆加热盘热处理设备，包括工作台，工作台的顶部中心处开设有方槽，当晶圆热处理完成后，收回伸缩杆，伸缩杆带动套柱进行反向移动，套柱带动螺纹套进行反向移动，螺纹套带动连接杆进行反向移动，连接杆带动圆环...
该专利属于深圳市圣柏林橡塑电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市圣柏林橡塑电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。