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本技术提供了一种半导体槽式清洗机台机械手臂的清洗装置，所述清洗机台内设有内部中空的清洗室，所述清洗室内设有槽体，所述槽体内部中空且顶部为敞口，所述清洗装置包括：安装于所述清洗室内壁的喷淋组件，所述喷淋组件通过管路与所述清洗机台的清洗液供给系...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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