下载电容式超声换能器及其制备方法的技术资料

文档序号:41970218

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本发明提供了电容式超声换能器及其制备方法,所述电容式超声换能器包括第一基底、多个间隔设置的第一电极、支撑层、多个振膜、多个第二电极、第二基底,第一电极位于第一基底的一侧;支撑层至少覆盖相邻的第一电极之间的区域,支撑层与多个第一电极构成多个凹...
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