下载氧化物系半导体MOSFET的技术资料

文档序号:41965720

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本发明提供一种氧化物系半导体MOSFET,具有n型氧化物系半导体层,以及漏电极,源电极,栅电极,介质层。其中所述的氧化物系半导体包括了氧化镓,以氧化镓为例,所述的源电极与n型氧化镓半导体层形成肖特基接触,如此可利用肖特基势垒制备出常关型的氧...
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