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本技术涉及一种用于半导体烘干的过滤装置，包括主体和连接在主体下方开口处的法兰连接框、设置于主体内的内置滤芯；主体是包括从上至下依次连接的进气管道、上盖和主壳体的一体件，主壳体呈方框状；上盖呈四棱台状，上盖连接在主壳体的上方将主壳体上方封闭；...
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