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本申请提供一种晶圆检测装置，涉及晶圆检测设备技术领域。该晶圆检测装置包括光源和罩体，罩体包括圆弧面部和配合部，圆弧面部盖设于光源，配合部连接于圆弧面部，以经过圆弧面部曲率圆心的基准面截面罩体，圆弧面部截面的弧端至弧顶连线为L，两个圆弧面部截...
该专利属于青岛旭芯互联科技研发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛旭芯互联科技研发有限公司授权不得商用。

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