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一种产生输出气体的方法，包括用从电极的尖端传播的RF功率对输入气体进行等离子体化，以形成由管约束的环形等离子体鞘，所述RF功率在所述环形等离子体鞘内传播；以及当所述环形等离子体鞘从所述电极的所述尖端向远处传播时，形成所述输出气体。...
该专利属于T·J·谢普拉克所有，仅供学习研究参考，未经过T·J·谢普拉克授权不得商用。

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