等离子气体发生器制造技术

一种产生输出气体的方法，包括用从电极的尖端传播的RF功率对输入气体进行等离子体化，以形成由管约束的环形等离子体鞘，所述RF功率在所述环形等离子体鞘内传播；以及当所述环形等离子体鞘从所述电极的所述尖端向远处传播时，形成所述输出气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术一般涉及使用等离子体定向电子束生产有用的气体，更具体地说，涉及使用等离子体定向电子束生产氮氧化物的方法和装置。

技术介绍

1、氮氧化物(nxox)是已知的抗菌剂和灭菌剂，在生命科学中有许多应用。然而，由于它们通常具有毒性以及保存期短，因此其可用性有限。需要一种根据需求生产nxox的方法，以避免它们有限的保存期限所带来的问题，并避免/减少库存/储存有毒气体的需求。本专利技术尤其满足了这一需求。

技术实现思路

1、为了提供对本专利技术某些方面的基本理解，下文给出了本专利技术的简要概述。本概述并不是对本专利技术的全面概述。其不旨在标识本专利技术的关键/重要元素或描绘本专利技术的范围。其唯一目的是以简化的形式呈现本专利技术的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。

2、美国专利申请号9,993,282中描述的同轴能量输送系统(其全部内容在此引入作为参考)利用等离子体的绝缘特性作为波导来限制和引导射频(rf)电能的相干电磁波。换言之，系统使用等离子体来提供将电磁波传送到目标材料的路径。这可以被描本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种产生输出气体的方法，其包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述环形等离子体鞘内传播的所述RF功率，其在所述RF环形等离子体鞘内的沿着所述管的给定轴向位置提供一致的径向功率密度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述径向功率密度是一致的原因在于所述环形等离子体鞘足够窄，使得所述RF功率在穿过所述环形等离子体鞘时是径向一致的。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，当所述RF功率从所述电极的所述尖端向远处传播时，所述RF功率下降到低于所述输入气体的一种或多种组分的eV值，从而导致所述一种或多种组分的组合形成所述输出气体。

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种产生输出气体的方法，其包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述环形等离子体鞘内传播的所述rf功率，其在所述rf环形等离子体鞘内的沿着所述管的给定轴向位置提供一致的径向功率密度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述径向功率密度是一致的原因在于所述环形等离子体鞘足够窄，使得所述rf功率在穿过所述环形等离子体鞘时是径向一致的。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，当所述rf功率从所述电极的所述尖端向远处传播时，所述rf功率下降到低于所述输入气体的一种或多种组分的ev值，从而导致所述一种或多种组分的组合形成所述输出气体。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述输入气体是空气，所述输出气体是一氧化氮(no)。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述输入气体包括用于电离的气体和至少一种额外的反应气体。

7.一种气体发生器系统，其包括：

8.根据权利要求7所述的系统，还包括：用于供应所述输入气体的所述气体源。

9.根据权利要求7所述的系统，其中，所述rf功率大于30w。

10.根据权利要求7所述的系统，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·J·谢普拉克，
申请(专利权)人：T·J·谢普拉克，
类型：发明
国别省市：