下载一种氮化镓器件及氮化镓器件的制作方法的技术资料

文档序号:41948320

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本申请实施例提供了一种氮化镓器件及氮化镓器件的制作方法,该氮化镓器件包括:氮化镓器件包括:外延基片,外延基片包括自下向上连接的衬底层、成核层、缓冲层、沟道层、势垒层,所述势垒层上设置有栅电极、源电极及漏电极;所述栅电极的下方具有周期分布的栅...
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