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本申请涉及一种贴膜返工装置，包括壳体和吸气组件，吸气组件包括设于壳体的一端的空心管以及设于壳体内的活塞，活塞和壳体界定出一体积可变的储气腔，空心管的内腔连通于储气腔，活塞配置为能够响应于外部作用力而沿空心管的中心轴线的延伸方向往复移动，空心...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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